iAS系列产品是星空科技自主研发的创新型整面光刻机，适用于先进封装、MEMS、功率器件和高端显示等方面。
| 设备名称 | iAS1500 | iAS3000 | iAS5000 | iAS9000 |
| 最高分辨率 | 1μm | |||
| 最大基片尺寸 | Φ150mm | Φ300mm | 515x510mm | 730x920mm |
| 光源 | LED/汞灯 | LED | ||
| 应用对象 | LED/MicroLED | 扇出大芯片 | 封装基板 | MicroLED基板 |
iAS2020T产品是星空科技自主研发的非接触式光刻机，适用于先进封装、高端显示及传感器等方面。
■ 大面积扫描式曝光
■ 高精度对准
■ 高精度调平
■ 高速高精运动
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