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iAS系列创新型整面曝光机，适用于高端显示、封装基板、先进封装等领域的 Micro-LED 大面积曝光、封装基板大面积曝光和扇出大芯片曝光。
设备名称
iAS3000
iAS5000
iAS9000
最高分辨率
1μm
最大基片尺寸
Φ300mm
515x510mm
730x920mm
应用对象
扇出大芯片
封装基板
Micro-LED显示
销售热线：+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱：sales@istar-group.com
