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iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备,能够实现晶圆与晶圆自动键合。设备采用了一体式设计,无需键合夹具,具有键合精度高、良率高的优势。
设备名称
iAB1500
iAB2000
iAB3000
晶圆尺寸
150mm
200mm
300mm
键合后精度
≤±2μm
≤±3μm
≤±5μm
销售热线:+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱:sales@istar-group.com