可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量，适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的测量分析。

设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、局部厚度变化等测量参数。

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