i3D系列产品是星空科技自主研发的非接触式光学面形检测设备，可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量，适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的检测分析。

iFM系列产品是星空科技自主研发的芯片位置测量设备，产品能够实现高精度测量样品图案位置信息，可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。