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iCB系列产品为星空科技自主研发的自动芯片键合设备,可实现芯片与芯片、芯片与晶圆键合。适用于红外传感器、MicroLED、Chiplet等应用。
iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备,能够实现晶圆与晶圆自动键合。设备采用了一体式设计,无需键合夹具,具有键合精度高、良率高的优势。