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iFM系列产品是星空科技自主研发的芯片位置测量设备,产品能够实现高精度测量样品图案位置信息,可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。
设备型号
iFM3000
iFM5000
基片尺寸
330mm*330mm
515mm*510mm
±100nm
销售热线:+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱:sales@istar-group.com