iAS系列创新型整面光刻机，适用于高端显示、封装基板、先进封装等领域的 Micro-LED 大面积曝光、封装基板大面积曝光和扇出及2.5D/3D大芯片曝光。
支持任意尺寸芯片曝光；支持圆片和方片曝光；
支持ghi-line任意谱线组合曝光；可选LED光源；
支持全局调平、逐场调平、扫描调平等调平模式；
支持全局对准、逐场对准、扫描对准等对准模式。
| 设备名称 | iAS3000 | iAS5000 | iAS9000 |
| 最高分辨率 | 1μm | ||
| 最大基片尺寸 | Φ300mm/200mm/150mm | 515x510mm | 730x920mm |
| 光源 | 汞灯/LED灯 | LED灯 | LED灯 |
| 对准精度 | 300nm | 500nm | 500nm |
| 调平精度 | 500nm | 500nm | 500nm |
| 照明均匀性 | ≤3% | ≤3% | ≤3% |
| 应用对象 | 扇出及2.5D/3D大芯片 | 封装基板 | Micro-LED显示 |
销售热线：+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱：sales@istar-group.com
