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iFM系列芯片位置测量设备

iFM1.jpg

iFM系列产品是星空科技自主研发的芯片位置测量设备，产品能够实现高精度测量样品图案位置信息，可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。


设备型号iFM3000iFM5000
基片尺寸330mm*330mm515mm*510mm
测量精度±100nm±100nm



销售热线：+86 18017325886 / +886 972268621

销售邮箱：sales@istar-group.com