iAS系列产品是星空科技自主研发的大面积光刻机，支持多种尺寸晶圆及大尺寸基板曝光，兼具接触式/接近式的低成本优势与步进式的高分辨率性能，能满足先进封装的大面积曝光需求。
| 设备型号 | iAS1500 | iAS2000 | iAS3000 | iAS6000 |
| 最大基片尺寸 | Φ150mm | Φ200mm | Φ300mm 310mmx310mm | 515mmx510mm 700mmx700mm |
| 光源 | LED/汞灯 | LED | ||
| 最高分辨率 | 1 μm | |||
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