iFM系列产品是星空科技自主研发的高精度芯片位置测量设备，主要用于芯片转移后的位置偏差测量。设备基于上下双镜头同步扫描技术，通过对比位置基准版，从而高精度获取样品图案位置信息，实现对芯片位置的精准测量与校准。
| 设备型号 | iFM2000 | iFM3000 | iFM5000 |
| 基片尺寸 | 4/6/8 inch圆片或方片 | 330mmx330mm 300mmx300mm 200mmx200mm | 515mmx510mm 330mmx330mm 300mmx300mm 200mmx200mm |
| 测量重复精度 | ≤ ±500nm | ||
| 测量效率 | 250000 Led/Min 或 8000 Mark/Min | ||
| 上下片模式 | 手动 / 自动 | ||
销售热线：+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱：sales@istar-group.com
