iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度测量设备，设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、局部厚度变化等测量参数。
| 设备型号 | iWB750 | iWB1500 | iWB2000 |
| 最大测量基片尺寸 | Φ75mm | Φ150mm | Φ200mm |
| 测量重复性 | ±0.35μm | ||
| 对准精度 | ±10μm | ||
| 测量参数 | 厚度、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、局部厚度变化 | ||
销售热线：+86 18017325886 / +886 972268621
销售邮箱：sales@istar-group.com
