
i3D系列产品是星空科技自主研发的非接触式光学面形测量设备,可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量,适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的测量分析。
| 设备型号 | i3D1500 | i3D3000 | i3D4500 |
| 测量物体直径 | ≤ 150mm | ≤ 300mm | ≤450mm |
| 测量物体反射率 | 0.1%~100% | ||
| 最大测量倾角 | 90° | ||
| 测量重复性 | ≤ ±20nm | ||
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