iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度测量设备，设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等测量参数。适用于多种规格芯片和晶圆的平面度测量。
| 设备型号 | iWB750 | iWB1500 | iWB2000 |
| 最大测量基片尺寸 | ⌀75mm | ⌀150mm | ⌀200mm |
| 测量重复性 | 0.35μm | ||
| 最准精度 | ±10μm | ||
| 测量方式 | 光谱共焦非接触式无损测量 | ||
| 测量参数 | 厚度、TTV、BOW、Warp、LTV | ||
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